杜邦二氧化硅拋光液的爭議以美國ITC給英特爾一年寬限落幕
化學(xué)機(jī)械研磨漿是生產(chǎn)芯片所需的關(guān)鍵原料，用來研磨晶圓的表面，這款名為Optiplane的CMP漿料，由杜邦旗下的羅門哈斯（Rohm & Haas）在臺灣和日本制造，這款研磨漿被CMC材料公司控告侵害專利權(quán)，ITC因而裁定禁止進(jìn)口到美國。
根據(jù)CMC的主張，Optiplane漿料使用該公司旗下Cabot Microelectronics擁有的先進(jìn)技術(shù)，即在漿料中使用二氧化硅粒子來研磨半導(dǎo)體，Cabot這個系列的漿料稱為iDiel。
